Elipsometria

28 Novembro 2022, 16:00 Jorge Correia

Elipsometria: Teoria da reflexão da luz; coeficientes de reflexão de Fresnel, desvio de fase, ângulo azimutal e equação fundamental da elipsometria. Pârametros elipsométricos e propriedades ópticas. Interface substrato-ambiente e substrato-filme-ambiente. Sensibilidade à espessura de um filme e abordagem experimental na medida elipsométrica.