Elipsometria II

28 Outubro 2019, 16:00 • Jorge Correia

Simulação de crescimento de filmes homogéneos por elipsometria. Dependência do índice de refracção complexo das propriedades dos materiais. Determinação in-situ e ex-situ da espessura de filmes finos por simulação de crescimento e por adequação a modelos físicos. Exemplos de utilização da elipsometria como técnica analítica e para caracterizar filmes finos depositados sobre um eléctrodo. Exemplos da utilização da elipsometria de imagem para quantificar variações locais de espessura de filmes muito finos em biosensores.