Nanofabricação: abordagens top-down I

10 Outubro 2017, 13:00 • Hugo Alexandre Teixeira Duarte Ferreira

Microelectrónica e produção de chips. Bolachas de silício. Litografia UV e electrónica. Máscaras, direct writing e fotoresiste. PVD, CVD, ion beam deposition, ion diffusion, ion implantation, MBE, electroplating, ion milling, dry etch, wet etch.