Programa

Tecnologias de Filmes Finos

Doutoramento Bolonha em Engenharia Física

Programa

Introdução às técnicas físicas e químicas de deposição de filmes finos. Pulverização catódica (MS); deposição por laser pulsado (PLD); epitaxia de feixe de iões (IBE); canhão de electrões (EBE) e evaporação térmica. Técnicas de deposição em fase gasosa (CVD) Aspectos técnicos e aplicações típicas em investigação científica e indústria. Técnicas de caracterização de filmes finos